Submikroninės polimerinės kaukės formavimo elektronų pluošteliu tyrimas ir kontrolės metodas

Authors

  • V. Grigaliūnas
  • V. Čižas
  • K. Gediminskas

Abstract

-

Published

1995-04-28

How to Cite

Grigaliūnas, V., Čižas, V., & Gediminskas, K. (1995). Submikroninės polimerinės kaukės formavimo elektronų pluošteliu tyrimas ir kontrolės metodas. Elektronika Ir Elektrotechnika, 2(2). Retrieved from https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/15535

Issue

Vol. 2 No. 2 (1995)

Section

Articles

License

The copyright for the paper in this journal is retained by the author(s) with the first publication right granted to the journal. The authors agree to the Creative Commons Attribution 4.0 (CC BY 4.0) agreement under which the paper in the Journal is licensed.

By virtue of their appearance in this open access journal, papers are free to use with proper attribution in educational and other non-commercial settings with an acknowledgement of the initial publication in the journal.