V. Grigaliūnas, V. Čižas, and K. Gediminskas, “Submikroninės polimerinės kaukės formavimo elektronų pluošteliu tyrimas ir kontrolės metodas”, ELEKTRON ELEKTROTECH, vol. 2, no. 2, Apr. 1995, Accessed: Jan. 23, 2026. [Online]. Available: https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/15535