Grigaliūnas V, Čižas V, Gediminskas K. Submikroninės polimerinės kaukės formavimo elektronų pluošteliu tyrimas ir kontrolės metodas. ELEKTRON ELEKTROTECH [Internet]. 1995Apr.28 [cited 2024Apr.29];2(2). Available from: https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/15535