Grigaliūnas, V., V. Kopustinskas, M. Andrulevičius, and J. Margelevičius. “Reaktyvaus Si Mikrooptinių struktūrų ėsdinimo SF6/Ar, N2, He, O2 Dujų Plazmoje įtakos Difrakcijos Efektyvumui Tyrimas”. Elektronika ir Elektrotechnika 16, no. 3 (April 27, 1998). Accessed December 22, 2024. https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/16011.