“Reaktyvaus Si Mikrooptinių struktūrų ėsdinimo SF6 Ar, N2, He, O2 Dujų Plazmoje įtakos Difrakcijos Efektyvumui Tyrimas”. Elektronika Ir Elektrotechnika, vol. 16, no. 3, Apr. 1998, https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/16011.