J. Daugėla, S. Joneliūnas, A. Jotautis, R. Naujokaitis, and E. Klovaitė, “Deposition of ZnO Layers Using Planar Reactive Magnetron System”, ELEKTRON ELEKTROTECH, vol. 63, no. 7, pp. 70–73, Aug. 2005, doi: 10.5755/j02.eie.10495.