Grigaliūnas, V., Kopustinskas, V., Andrulevičius, M. and Margelevičius, J. (1998) “Reaktyvaus Si mikrooptinių struktūrų ėsdinimo SF6/Ar, N2, He, O2 dujų plazmoje įtakos difrakcijos efektyvumui tyrimas”, Elektronika ir Elektrotechnika, 16(3). Available at: https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/16011 (Accessed: 22December2024).