Grigaliūnas, V., V. Kopustinskas, M. Andrulevičius, and J. Margelevičius. 1998. “Reaktyvaus Si Mikrooptinių struktūrų ėsdinimo SF6/Ar, N2, He, O2 Dujų Plazmoje įtakos Difrakcijos Efektyvumui Tyrimas”. Elektronika Ir Elektrotechnika 16 (3). https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/16011.