ANDRIUKAITIS, D.; ANILIONIS, R. Investigation of Etching Process in Nano Structures. Elektronika ir Elektrotechnika, [S. l.], v. 86, n. 6, p. 77–80, 2008. DOI: 10.5755/j02.eie.11189. Disponível em: https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/11189.. Acesso em: 11 jun. 2026.