Grigaliūnas, V., Kopustinskas, V., Andrulevičius, M., & Margelevičius, J. (1998). Reaktyvaus Si mikrooptinių struktūrų ėsdinimo SF6/Ar, N2, He, O2 dujų plazmoje įtakos difrakcijos efektyvumui tyrimas. Elektronika Ir Elektrotechnika, 16(3). Retrieved from https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/16011