Grigaliūnas, V., Čižas, V., & Gediminskas, K. (1995). Submikroninės polimerinės kaukės formavimo elektronų pluošteliu tyrimas ir kontrolės metodas. Elektronika Ir Elektrotechnika, 2(2). Retrieved from https://eejournal.ktu.lt/index.php/elt/article/view/15535