Daugėla, J., Joneliūnas, S., Jotautis, A., Naujokaitis, R., & Klovaitė, E. (2005). Deposition of ZnO Layers Using Planar Reactive Magnetron System. Elektronika Ir Elektrotechnika, 63(7), 70-73. https://doi.org/10.5755/j02.eie.10495