Grigaliūnas, V.; Kopustinskas, V.; Andrulevičius, M.; Margelevičius, J. Reaktyvaus Si Mikrooptinių struktūrų ėsdinimo SF6/Ar, N2, He, O2 Dujų Plazmoje įtakos Difrakcijos Efektyvumui Tyrimas. ELEKTRON ELEKTROTECH 1998, 16.