Grigaliūnas, V., Kopustinskas, V., Andrulevičius, M. and Margelevičius, J. 1998. Reaktyvaus Si mikrooptinių struktūrų ėsdinimo SF6/Ar, N2, He, O2 dujų plazmoje įtakos difrakcijos efektyvumui tyrimas. Elektronika ir Elektrotechnika. 16, 3 (Apr. 1998).